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技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
收稿范围
1. 微纳电子材料与器件
材料研究：半导体材料、介电材料、金属材料等在微纳电子领域的应用。
器件设计与制造：微纳尺度下的晶体管、存储器、传感器等器件的设计与制备技术。
2. 微纳加工技术
光刻技术、电子束曝光、纳米压印等微纳加工工艺。
自组装技术、分子束外延等纳米制造方法。
3. 微纳系统集成
微机电系统（MEMS）、纳机电系统（NEMS）的设计与集成。
三维集成技术、异质集成技术等。
4. 微纳电子测试与表征
微纳尺度下的电学、力学、热学等性能测试技术。
原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）等表征手段。
5. 微纳电子应用
微纳电子技术在通信、医疗、能源等领域的应用。
柔性电子、可穿戴设备等新兴应用领域。
6. 微纳电子理论模拟
微纳尺度下的电子输运、量子效应等理论模拟研究。
第一性原理计算、分子动力学模拟等方法。
联系方式
地 址：石家庄市合作路113号
邮政编码：50002
鄂公网安备42018502007910号
