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综述评述、研究快报、研究论文
收稿范围
1. 真空科学与技术基础研究
真空物理、真空测量与校准、真空获得技术等基础理论研究。
2. 真空应用技术
真空在电子、光学、材料科学、能源等领域的应用技术。
3. 真空设备与系统
真空泵、真空阀门、真空腔体等设备的设计、制造与性能研究。
真空系统的集成、控制与优化。
4. 薄膜科学与技术
薄膜制备、表征、性能与应用研究。
新型薄膜材料与器件的开发。
5. 表面科学与工程
表面处理、改性、涂层技术及其应用。
表面分析技术与方法。
6. 等离子体科学与技术
等离子体产生、特性、控制及其在真空环境下的应用。
7. 真空电子学与器件
真空电子器件、X射线管、电子显微镜等的研究与开发。
8. 空间真空科学与技术
空间环境模拟、空间材料与器件的真空效应研究。
9. 其他相关领域
真空科学与技术的新理论、新方法、新材料、新工艺。
真空科学与技术的教育、标准与规范。
联系方式
地 址：北京市海淀区中关村南三街8号A楼2段306室
邮政编码：100190
鄂公网安备42018502007910号
